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光學(xué)薄膜測(cè)厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備，利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析，主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類(lèi)外延片的外延層厚度測(cè)量。